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나노종합팹센터, 새솔 CMP소모품 공급협약
- 16-07-20 20:37
- 새솔다이아몬드공업
나노종합팹센터(소장 이희철)는 새솔다이아몬드공업(대표 맹주호)으로부터 반도체 웨이퍼 평탄화장비인 CMP장비 운영에 들어가는 패드컨디셔너를 무상 공급받기로 하는 협약을 체결했다고 20일 밝혔다.
패드컨디셔너는 연마품질을 좌우하는 CMP장비 소모품이다.
이번 협약으로 나노종합팹센터는 패드컨디셔너를 안정적으로 지원 받아 고품질의 팹(Fab)서비스를 제공할 수 있게 됐다. 새솔다이아몬드는 컨디셔너를 삼성전자ㆍ하이닉스 등 국내외 반도체회사에 납품하고 있는 중견기업이다.
나노종합팹센터는 지난번 제일모직과 CMP 슬러리를 안정적으로 공급받는 지원협약을 맺은 바 있다.
이희철 소장은 "나노 종합팹 사업에서 기업의 참여와 지원이 필수적이라는 점에서 이번 협력협약의 의미가 있다"고 말했다.